公司的核心技術(shù)為高質(zhì)量SiC外延量產(chǎn)技術(shù)，重在外延各個(gè)環(huán)節(jié)的工藝把控，最終表現(xiàn)為高質(zhì)量和高良率帶來(lái)的客戶(hù)依賴(lài)及利潤(rùn)回報(bào)；創(chuàng)新點(diǎn)在于與器件制造工藝匹配的先進(jìn)外延技術(shù)開(kāi)發(fā)，外延缺陷分析檢測(cè)以及延伸的外延設(shè)備核心工藝改進(jìn)。
公司目前已掌握先進(jìn)的碳化硅外延生長(zhǎng)工藝，擁有量產(chǎn)各類(lèi)規(guī)格外延片能力，外延片性能已達(dá)國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平，且在高質(zhì)量SiC外延片量產(chǎn)的關(guān)鍵工藝技術(shù)研發(fā)上取得突破，已通過(guò)下游器件廠(chǎng)商的多輪流片驗(yàn)證，各項(xiàng)性能指標(biāo)均獲得了下游器件廠(chǎng)商的高度認(rèn)可。
目前公司產(chǎn)出專(zhuān)利合計(jì)13項(xiàng)，在未來(lái)潛在領(lǐng)域亦有布設(shè)。
